公开/公告号US10978359B2
专利类型
公开/公告日2021-04-13
原文格式PDF
申请/专利权人 SHOWA DENKO K.K.;
申请/专利号US201916544998
发明设计人 SHUNSUKE NOGUCHI;
申请日2019-08-20
分类号H01L21/66;H01L21/02;G01N23/2258;H01L29/34;H01L29/36;H01L29/16;H01L21/67;
国家 US
入库时间 2022-08-24 18:10:48