公开/公告号JP6845245B2
专利类型
公开/公告日2021-03-17
原文格式PDF
申请/专利权人 エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.;
申请/专利号JP20180530501
发明设计人 ディクスマン;ヨハン;フレデリック;ヴァン デ ヴェン;バスチアーン;ランバータス;ウィルヘルムス;マリヌス;ウィンケルズ;コエン;ゲルハルダス;ドリエッセン;テオドルス;ウィルヘルムス;ヴァーシシェンコ;ゲオルギー;オー.;バウムガルト;ピーター;マイケル;アーンゲネント;ウィルヘルムス;ヘンリクス;テオドルス;マリア;ニューウェンカンプ;ヤン;オッケ;カンピンガ;ウィン;ロナルド;ルオツァライネン;ジャリ;
申请日2016-12-15
分类号G03F7/20;H05G2;
国家 JP
入库时间 2022-08-24 17:44:04