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机译:带有装置的光源,用于通过高频过滤器使光罩芬顿发光,特别是对于远紫外光
公开/公告号DE000001489302A
专利类型
公开/公告日1969-02-20
原文格式PDF
申请/专利权人 CENTRE NAT RECH SCIENT;
申请/专利号DE1489302A
发明设计人 VODAR BORIS;DAMANY HENRI;ROMAND JAQUES;
申请日1965-12-04
分类号H01J61/06;
国家 DE
入库时间 2022-08-23 12:15:13
机译: 极紫外光源装置,用于极紫外光源装置的激光光源装置以及用于极紫外光源装置的激光光源的调谐方法
机译: 极紫外光源装置,用于极紫外光源装置的激光光源装置以及调整用于极紫外光源装置的激光光源装置的方法
机译: 极紫外光源装置,用于极紫外光源的激光光源装置以及用于极紫外光源装置的激光光源调整方法