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light source with a device to zuendung of hauptfunkens by a hilfsfunken, especially for the far ultraviolet

机译:带有装置的光源,用于通过高频过滤器使光罩芬顿发光,特别是对于远紫外光

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号DE000001489302A

    专利类型

  • 公开/公告日1969-02-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 CENTRE NAT RECH SCIENT;

    申请/专利号DE1489302A

  • 发明设计人 VODAR BORIS;DAMANY HENRI;ROMAND JAQUES;

    申请日1965-12-04

  • 分类号H01J61/06;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-23 12:15:13

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