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机译:反射双光束周边扫描的光学干涉检测系统
公开/公告号US3476948A
专利类型
公开/公告日1969-11-04
原文格式PDF
申请/专利权人 SYLVANIA ELECTRIC PRODUCTS INC.;
申请/专利号USD3476948
发明设计人 PAUL E. MENGERS;
申请日1968-02-19
分类号H01J39/12;
国家 US
入库时间 2022-08-23 11:37:20
机译: 使用双光束周边扫描的光学干涉检测系统
机译: 使用双光束外围扫描和导光管的光学干涉检测系统
机译: 光学扫描传感器元件,具有从在两个分割透镜之间形成的各个光束路径延伸的透镜布置,以聚焦从物体反射的光束