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机译:防止扩散泵回流的陷阱
公开/公告号US3623828A
专利类型
公开/公告日1971-11-30
原文格式PDF
申请/专利权人 NASA USA;
申请/专利号USD3623828
发明设计人 HAROLD SHAPIRO;
申请日1968-12-31
分类号F04F9/06;
国家 US
入库时间 2022-08-23 08:03:09
机译: 限制扩散泵中蒸气后流的方法
机译: 防止反应性蒸气回流和回流引起沉积的方法和装置