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机译:已用于蚀刻铜的用于排放排出的反应性化学物质的装置和方法。
公开/公告号IT8019496D0
专利类型
公开/公告日1980-01-25
原文格式PDF
申请/专利权人 CAVIS CAVETTI ISOLATI S.P.A;
申请/专利号IT19800019496
发明设计人 CODRINO GIUSEPPE;
申请日1980-01-25
分类号H05K;
国家 IT
入库时间 2022-08-22 18:15:24
机译: 已用于蚀刻铜的用于排放排出的反应性化学物质的装置和方法
机译: 等离子体辅助化学刻蚀的活性气体和边缘上等离子稳定刻蚀的方法
机译: 用于等离子体辅助化学刻蚀的活性气体和用于基质稳定等离子体刻蚀的方法