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机译:用于检测物体表面直线度和平面度的干涉仪
公开/公告号SU756192A1
专利类型
公开/公告日1980-08-15
原文格式PDF
申请/专利权人 DUKHOPEL IVAN SU;KUZNETSOV ALEKSEJ SU;SEREGIN ALEKSANDR GSU;
申请/专利号SU19782620669
发明设计人 KUZNETSOV ALEKSEJ SU;DUKHOPEL IVAN SU;SEREGIN ALEKSANDR GSU;
申请日1978-05-25
分类号G01B9/02;G01B11/30;
国家 SU
入库时间 2022-08-22 17:47:50
机译: 用于检测物体直线度的干涉仪
机译: 用于检查反射表面计划的干涉仪
机译: 用于检查平面磨削表面的干涉仪