METHOD AND DEVICE FOR CONTROLLING LOCAL EVAPORATION POWER OF EVAPORATOR ON MANUFACTURING THIN LAYER ON SUBSTRATE BY VACUUM EVAPORATION PROCESS

机译： 用于转移掩模的基板的局部可区分的汽化的溅射方法，包括将吸收和蒸发层加热到低于蒸发材料的熔融，蒸发或升华温度的温度

机译： 在蒸发器中分离衬底上的蒸发材料的方法，涉及通过改变真空接收器内的主要压力来影响用于分离衬底上的蒸发材料的沉积速率。

机译： 一种用于调节真空过程中蒸发器非反射层上的局部蒸发能力的方法