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机译:可光化的介电成分。制作和使用方法。
公开/公告号IE840746L
专利类型
公开/公告日1985-02-28
原文格式PDF
申请/专利权人 GENERAL ELECTRIC CO.;
申请/专利号IE19840000746
发明设计人
申请日1984-03-27
分类号G03C1/73;C08L83/14;
国家 IE
入库时间 2022-08-22 08:15:30
机译: 可光图案化的介电材料及其配方和使用方法
机译: 使用旋涂,可光图案化的层间介电材料形成中间半导体器件结构的方法