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METHOD AND APPARATUS FOR CAPTIVATING A SUBSTRATE WITHIN A HOLDER

机译:在保持器内固定基质的方法和装置

摘要

A method of captivating a substrate within a holder for photolithographic processing is shown. A substrate is placed within the aperture of a holder and is sandwiched into place by laminating it with layers of dry film photopolymer resist. Portions of the photopolymer resist are polymerized. Unpolymerized portions are washed away leaving retaining tabs of polymerized resist which hold the substrate within the holder for an etching or plating process.
机译:示出了一种在夹具内固定衬底以进行光刻处理的方法。将基板放置在支架的孔内,并通过将其与干膜光敏聚合物抗蚀剂层层压在一起,将其夹在适当的位置。光聚合物抗蚀剂的部分被聚合。未聚合的部分被冲洗掉,留下聚合抗蚀剂的固位片,其将衬底固持在保持器内以进行蚀刻或电镀工艺。

著录项

  • 公开/公告号IL68260A

    专利类型

  • 公开/公告日1987-08-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MOTOROLA INC.;

    申请/专利号IL19830068260

  • 发明设计人

    申请日1983-03-28

  • 分类号H01L41/22;H01L21/283;H01L21/44;

  • 国家 IL

  • 入库时间 2022-08-22 07:20:14

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