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Method of forming on a surface of a moving substrate a layer, and vacuum evaporation apparatus for forming vapor deposited layers

机译:在移动基板的表面上形成层的方法以及用于形成气相沉积层的真空蒸发设备

摘要

The thickness distribution of a vapor deposited layer such as an interference filter having deposited on a moving substrate (63) such as a glass faceplate for a projection television tube, is controlled along an axis in the direction of travel of the substrate by employing at least one rotatable dodger (64) to partially shield the substrate as it passes behind the dodger during deposition.
机译:至少通过采用至少在沿着基板的行进方向上的轴线来控制已经沉积在移动基板(63)例如投影电视管的玻璃面板上的诸如干涉滤光片之类的气相沉积层的厚度分布。一个可旋转的减震器(64),在沉积过程中,当基板经过减震器后面时,可部分屏蔽基板。

著录项

  • 公开/公告号EP0393764A1

    专利类型

  • 公开/公告日1990-10-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 PHILIPS ELECTRONICS N.V.;

    申请/专利号EP19900200902

  • 发明设计人 PATT PAUL;BRENNESHOLTZ MATTHEW SCOTT;

    申请日1990-04-12

  • 分类号C23C14/22;H01J9/00;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-22 06:13:07

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