公开/公告号DE3750502T2
专利类型
公开/公告日1995-01-12
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC US;
申请/专利号DE19873750502T
发明设计人 CHANG MEI US;WANG DAVID NIN-KOU US;STALDER KENNETH R US;WONG JERRY YUEN KUI US;ANDREWS DANA L US;MAYDAN DAN US;WHITE JOHN M US;ZEITLIN VLADIMIR J US;CHENG DAVID US;SOMEKH SASSON US;
申请日1987-12-18
分类号H01J37/32;C23C16/50;H01L21/306;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 04:09:37