机译:光波导,半导体,激光-波导集成器件,半导体激光-波导-光电二极管集成器件,半导体-激光-波导模式匹配集成器件,模式匹配元件的制造方法
公开/公告号JPH08107253A
专利类型
公开/公告日1996-04-23
原文格式PDF
申请/专利权人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP;
申请/专利号JP19940303569
申请日1994-12-07
分类号H01S3/18;G02B6/122;G02F1/025;H01L21/265;H01L27/15;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 03:58:17