公开/公告号JPH0881766A
专利类型
公开/公告日1996-03-26
原文格式PDF
申请/专利权人 LEYBOLD MATERIARUSU GMBH;
申请/专利号JP19950092888
发明设计人 MARUTEIN SHIYUROTSUTO;MARUTEIN KUTSUNAA;MARUTEIN BUAIGERUTO;BUORUFUGANKU DAUTO;BURUUSU GEEMAN;
申请日1995-04-18
分类号C23C14/34;C04B35/628;C04B35/495;C23C14/08;H01L21/203;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 03:56:53