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含金属铜-氧化铜的粉末、含金属铜-氧化铜的粉末的制造方法及溅射靶材、溅射靶材的制造方法

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摘要

一种含金属铜‑氧化铜的粉末(10)，由金属铜粉末(11)、氧化铜粉末(12)和不可避免的杂质组成，其中，金属铜粉末(11)的平均粒径大于氧化铜粉末(12)的平均粒径，并且所述含金属铜‑氧化铜的粉末(10)具有在金属铜粉末(11)的外周部附着有氧化铜粉末(12)的结构的复合粒子(15)。并且，在金属铜粉末(11)的外周部形成有凹部，复合粒子(15)也可以为在形成于金属铜粉末(11)的外周部的所述凹部中填充有氧化铜粉末(12)的结构。

著录项

公开/公告号CN113365763A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-07

原文格式PDF
申请/专利权人三菱综合材料株式会社;
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申请/专利号CN202080011450.4
发明设计人武田拓真;野中庄平;森晓;
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申请日2020-03-10
分类号B22F1/00(20060101);B22F1/02(20060101);B22F3/15(20060101);C23C14/34(20060101);
代理机构11018 北京德琦知识产权代理有限公司;
代理人辛雪花;周艳玲
地址日本东京
入库时间 2023-06-19 12:29:04

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2023-07-28

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B22F 1/00 专利申请号:2020800114504 申请公布日:20210907

发明专利申请公布后的视为撤回

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