公开/公告号DE19526775A1
专利类型
公开/公告日1997-01-23
原文格式PDF
申请/专利权人 SIEMENS AG 80333 MUENCHEN DE;
申请/专利号DE1995126775
发明设计人 GUENTHER EWALD DIPL.-PHYS. DR. 91074 HERZOGENAURACH DE;HAMMERSCHMIDT ALBERT DIPL.-CHEM. DR. 91056 ERLANGEN DE;BEIE HANS-JUERGEN DIPL.-ING. DR. 90419 NUERNBERG DE;
申请日1995-07-21
分类号H01J37/28;C23C14/06;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 03:15:16