公开/公告号EP0798777A3
专利类型
公开/公告日1998-07-01
原文格式PDF
申请/专利权人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT;
申请/专利号EP19970104276
发明设计人 HIEBER KONRAD DR. DIPL.-PHYS.;IREICHEL HELMUTH DIPL.-ING. (FH);KOERNER HEINRICH DR. DIPL.-CHEM.;
申请日1997-03-13
分类号H01L21/768;H01L21/285;
国家 EP
入库时间 2022-08-22 02:49:57