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机译:晶圆干燥的平线方法
公开/公告号GB2298033B
专利类型
公开/公告日1998-11-04
原文格式PDF
申请/专利权人 * GEORGE KOCH SONS INC;
申请/专利号GB19960002034
发明设计人 LARRY J. * HEAD;JEFFREY L. * DEXTER;DAVID * SIEMERS;
申请日1996-02-01
分类号F26B15/18;
国家 GB
入库时间 2022-08-22 02:41:32
机译: 干燥晶片的襟翼方法
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