公开/公告号WO9963589A1
专利类型
公开/公告日1999-12-09
原文格式PDF
申请/专利权人 SIEMENS S.A.;DE STEUR HUBERT;ASCHENBRENNER ROLF;KLÖSER JOACHIM;JUNG ERIK;BOONE LUC;HEERMAN MARCEL;VAN PUYMBROECK JOZEF;
申请/专利号WO1999EP03801
申请日1999-06-01
分类号H01L21/60;H01L21/48;H01L23/13;H01L23/498;H05K3/34;
国家 WO
入库时间 2022-08-22 01:48:51