公开/公告号US6093934A
专利类型
公开/公告日2000-07-25
原文格式PDF
申请/专利号US19970785536
发明设计人 SHUNPEI YAMAZAKI;SATOSHI TERAMOTO;JUN KOYAMA;YASUSHI OGATA;MASAHIKO HAYAKAWA;MITSUAKI OSAME;HISASHI OHTANI;TOSHIJI HAMATANI;
申请日1997-01-17
分类号H01L21/84;
国家 US
入库时间 2022-08-22 01:36:38