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METHOD FOR PRODUCING OPTICAL THIN FILM BY LASER IRRADIATION

机译:激光辐照生产光学薄膜的方法

摘要

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress a change of the optical characteristics of a thin film with the lapse of time and to produce an optical thin film of good quality at a low cost. ;SOLUTION: The objective method for producing the optical thin film includes a step S2 for forming an optical thin film 2 on the surface of a substrate 1 and a step S3 for irradiating the formed optical thin film 2 with laser light 3.;COPYRIGHT: (C)2001,JPO
机译:解决的问题:抑制薄膜的光学特性随时间的变化,并以低成本生产高质量的光学薄膜。 ;解决方案:用于制造光学薄膜的客观方法包括在基板1的表面上形成光学薄膜2的步骤S2和用于向形成的光学薄膜2照射激光3的步骤S3。日本特许厅(C)2001

著录项

  • 公开/公告号JP2001290001A

    专利类型

  • 公开/公告日2001-10-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 CANON INC;

    申请/专利号JP20000102126

  • 发明设计人 SUZUKI YASUYUKI;

    申请日2000-04-04

  • 分类号G02B1/10;C23C14/58;H01L21/027;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-22 01:33:23

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