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PRODUCTION OF CARBON-COATED BARRIER FILMS WITH INCREASED CONCENTRATION OF CARBON WITH TETRAHEDRAL COORDINATION

机译:通过四面体配位生产碳浓度更高的碳包膜薄膜

摘要

Carbon is deposited on a substrate through plasma enhanced chemical vapor deposition of a decomposable processor containing a seed material additive. The seed material is a hydrocarbon having a high concentration of sp3 tetrahedrally-coordinated carbon. The seed material provides a template for the replication of sp3 tetrahedrally-coordinated carbon atoms in the deposited amorphous carbon coating.
机译:通过包含种子材料添加剂的可分解处理器的等离子体增强化学气相沉积,将碳沉积在基板上。种子材料是具有高浓度的sp 3四面体配位碳的烃。种子材料提供了用于在沉积的无定形碳涂层中复制sp 3四面体配位的碳原子的模板。

著录项

  • 公开/公告号EP0763144B1

    专利类型

  • 公开/公告日2001-08-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MOBIL OIL CORPORATION;

    申请/专利号EP19950921587

  • 发明设计人 WAGNER JOHN RALPH JR.;

    申请日1995-06-02

  • 分类号C23C16/00;C23C16/26;C23C16/50;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-22 01:17:08

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