一种光束的波面分析方法,其中在垂直于待分析光束的平面上放置具有矩形网眼的衍射光栅,并使该分析平面光学共轭。从网络发出的不同光束会通过形成图像而发生干扰,该图像的变形与所分析的波面的梯度有关。该方法的特征在于,光栅(GR)执行由光栅(GI3A)执行的强度函数的乘法,该光栅定义了子瞳孔的矩形网格,所述子瞳孔将要分析的光束透射为多个排列的光束出射在具有相位函数的矩形网格中,由网络(GP4)执行该网络,该网络在两个相邻的出射光束之间引入相移,以使这两个出射光束在相位上相反。 P>
公开/公告号FR2795175A1
专利类型
公开/公告日2000-12-22
原文格式PDF
申请/专利号FR19990007804
申请日1999-06-17
分类号G01J9/02;G02B5/18;
国家 FR
入库时间 2022-08-22 01:07:54