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机译:一种利用电压-电流阿贝特方法生产薄膜图案的方法
公开/公告号DE69708787T2
专利类型
公开/公告日2002-06-20
原文格式PDF
申请/专利权人 CLARIANT FINANCE (BVI) LTD. ROAD TOWN;
申请/专利号DE1997608787T
发明设计人 DEPRADO MICHAEL;DAMMEL R.;SPAK A.;
申请日1997-02-18
分类号G03F7/09;G03F7/40;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 00:25:00
机译: 树脂组合物,光敏树脂组合物,固化膜,固化膜的生产方法,图案化固化膜和图案化固化膜的制备方法
机译: 成膜材料,光刻技术,成膜材料,光学成分形成材料,抗蚀剂组合物,抗蚀剂图案形成方法,抗蚀剂永久膜,放射线敏感性组合物,非晶膜制造方法,光刻法成膜下层膜形成成分,光刻层膜生产方法和电路图形形成方法