公开/公告号US6544380B2
专利类型
公开/公告日2003-04-08
原文格式PDF
申请/专利权人 TOKYO ELECTRON LIMITED;
申请/专利号US20020079600
发明设计人 MASAYUKI TOMOYASU;AKIRA KOSHIISHI;KOSUKE IMAFUKU;SHOSUKE ENDO;KAZUHIRO TAHARA;YUKIO NAITO;KAZUYA NAGASEKI;KEIZO HIROSE;MITSUAKI KOMINO;HIROTO TAKENAKA;HIROSHI NISHIKAWA;YOSHIO SAKAMOTO;
申请日2002-02-19
分类号H05H10/00;C23C160/00;
国家 US
入库时间 2022-08-22 00:04:34