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机译：暴露生物信息学设备
公开/公告号RU28032U1
专利类型
公开/公告日2003-03-10
原文格式PDF
申请/专利权人 ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ ДЖУС СИТИ;
申请/专利号RU20020134265U
发明设计人 ИСХАКОВ А.А.;
申请日2002-12-24
分类号A61N5/00;
国家 RU
入库时间 2022-08-21 23:43:31
机译： 以器件生产方式生产，并且具有对准装置及其对准装置，曝光装置及其使用曝光方式的曝光装置，包括对准方式的曝光方式及其对准方式。
机译： 用于接近曝光装置的照明装置，LED单元，接近曝光装置和接近曝光装置的曝光方法
机译： 半导体装置的制造方法，曝光装置的曝光方法，曝光装置及曝光装置的光源
