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Process for etching the surface of a substrate and installation for deployment in practice of the process

机译：蚀刻衬底表面的方法以及在该方法的实践中用于展开的安装

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公开/公告号PT908535E

专利类型
公开/公告日2003-11-28

原文格式PDF
申请/专利权人 RECHERCHE ET DEVELOPPEMENT GROUPE COCKERILL SAMBRE;
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申请/专利号PT19970203136T
发明设计人 ALAIN WEYMEERSCH;PIERRE VANDEN BRANDE;
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申请日1997-10-08
分类号C23G5/00;H01J37/34;
国家 PT
入库时间 2022-08-21 23:08:50

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