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机译:在SOI上使用tiefgraben dram工艺处理dram细胞低leckstrom
公开/公告号AT268945T
专利类型
公开/公告日2004-06-15
原文格式PDF
申请/专利权人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;
申请/专利号AT19950114657T
发明设计人 ALSMEIER JOHANN;STENGL REINHARD JOHANNES;
申请日1995-09-18
分类号H01L27/108;H01L21/82;H01L21/8242;H01L27/12;
国家 AT
入库时间 2022-08-21 23:06:33
机译: 在SOI上使用tiefgraben dram工艺处理dram细胞低leckstrom
机译: 低级挖掘-DRAM-用于DRAM的SOI工艺-电池低泄漏电流
机译: 用于低泄漏DRAM单元的SOI上的深沟槽DRAM工艺