公开/公告号AU2003264795A1
专利类型
公开/公告日2004-05-25
原文格式PDF
申请/专利号AU20030264795
发明设计人 WILHELMUS C. KEUR;MAREIKE K. KLEE;JOERG MEYER;HENRICUS A. M. VAN HAL;HANS-WOLFGANG BRAND;GERRIT J. W. HUISKAMP;DANIELLE BEELEN;
申请日2003-10-06
分类号C23C18/12;H01L21/316;
国家 AU
入库时间 2022-08-21 23:02:39