公开/公告号WO2005091349A1
专利类型
公开/公告日2005-09-29
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;WANG YUXIANG MAY;BITTRICH DAVID R.;BENCHER CHRISTOPHER DENNIS;BOTELHO HERALDO L.;RATHI SUDHA S. R.;KWAN MICHAEL CHIU;
申请/专利号WO2005US08070
发明设计人 WANG YUXIANG MAY;BOTELHO HERALDO L.;BITTRICH DAVID R.;BENCHER CHRISTOPHER DENNIS;KWAN MICHAEL CHIU;RATHI SUDHA S. R.;
申请日2005-03-09
分类号H01L21/3213;H01L21/033;H01L21/027;H01L21/314;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 22:08:32