公开/公告号KR20060127250A
专利类型
公开/公告日2006-12-11
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号KR20067020909
发明设计人 BENCHER CHRISTOPHER DENNIS;BITTRICH DAVID R.;BOTELHO HERALDO L.;RATHI SUDHA S. R.;WANG YUXIANG MAY;KWAN MICHAEL CHIU;
申请日2006-10-09
分类号H01L21/3213;H01L21/205;H01L21/3065;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 20:42:44