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LASER PROCESSING APPARATUS USING POLYGON MIRROR TO IMPROVE SAWING EFFICIENCY

机译:使用聚偏光镜提高激光切割效率的激光加工设备

摘要

PURPOSE: A laser processing apparatus using a polygon mirror is provided to improve cutting efficiency by eliminating the necessity of an additional replacement process of equipment and by performing a cutting process while using only laser. CONSTITUTION: A laser generation unit generates and outputs laser. A polygon mirror(10) includes a plurality of reflection surfaces(12), rotating with respect to an axis. The polygon mirror reflects the laser that is generated from the laser generation unit and is incident upon the reflection surface. A lens(20) collects the laser light reflected from the polygon mirror to irradiate the laser light to an object to be processed.
机译:目的:提供一种使用多面镜的激光加工设备,通过消除设备的额外更换过程的必要性以及仅使用激光进行切割过程来提高切割效率。组成:激光发生单元产生并输出激光。多面镜(10)包括相对于轴线旋转的多个反射面(12)。多面镜反射从激光产生单元产生并入射在反射面上的激光。透镜(20)收集从多角镜反射的激光,以将激光照射到要处理的物体上。

著录项

  • 公开/公告号KR100462358B1

    专利类型

  • 公开/公告日2004-12-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 EO TECHNICS CO. LTD.;

    申请/专利号KR20040022270

  • 发明设计人 HAN YOU HIE;

    申请日2004-03-31

  • 分类号H01L21/78;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 22:06:12

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