公开/公告号DE10327709A1
专利类型
公开/公告日2005-01-13
原文格式PDF
申请/专利号DE2003127709
发明设计人 SECK MARTIN DR. 81827 MÜNCHEN DE;HUTTNER THOMAS DR. 87616 MARKTOBERDORF DE;DREXL STEFAN 82272 MOORENWEIS DE;BÖTTNER THOMAS 81543 MÜNCHEN DE;
申请日2003-06-21
分类号H01L27/082;H01L21/331;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 22:01:23