公开/公告号JP2008505364A
专利类型
公开/公告日2008-02-21
原文格式PDF
申请/专利权人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド;
申请/专利号JP20070519490
发明设计人 ビューチェーン;ロバート ジェー.;テイツェル;ロビン エル.;クラチコ;アッシャー;ハウウェルズ;サミュエル シー.;ハバード;ジョン ジェー.;ピロゴフスキー;ピーター;チャブレック;トーマス イー.;
申请日2005-07-01
分类号G03F1/08;G06T1/00;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 20:19:30