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Polymer composition, hardmask composition having antireflective properties, and associated methods

机译：聚合物组合物，具有抗反射性能的硬掩模组合物以及相关方法

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摘要

A polymer composition includes an aromatic ring-containing polymer represented by Formula 1:; wherein m and n satisfy the relations 1≦m190, 0≦n190, and 1≦m+n190.

机译：聚合物组合物包括由式1表示的含芳环的聚合物;和其中m和n满足关系1≦m <190、0≦n <190和1≦m + n <190。

著录项

公开/公告号US2009176165A1

专利类型
公开/公告日2009-07-09

原文格式PDF
申请/专利权人 HWAN SUNG CHEON;JONG SEOB KIM;KYONG HO YOON;MIN SOO KIM;JIN KUK LEE;JEE YUN SONG;
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申请/专利号US20080318255
发明设计人 JIN KUK LEE;HWAN SUNG CHEON;MIN SOO KIM;JONG SEOB KIM;JEE YUN SONG;KYONG HO YOON;
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申请日2008-12-23
分类号G03F1/00;C08G65/38;C08L71/10;G03F7/20;
国家 US
入库时间 2022-08-21 19:33:18

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