公开/公告号WO2009123325A1
专利类型
公开/公告日2009-10-08
原文格式PDF
申请/专利权人 TOKYO ELECTRON LIMITED;HONDA MINORU;NAKANISHI TOSHIO;KOHNO MASAYUKI;NISHITA TATSUO;MIYAHARA JUNYA;
申请/专利号WO2009JP57006
申请日2009-03-30
分类号H01L21/318;C23C16/42;H01L21/31;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 19:16:33