首页> 中文会议>2003年中国太阳能学会学术年会 >PECVD法制备氮化硅减反射膜研究

PECVD法制备氮化硅减反射膜研究

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

氮化硅薄膜作为一种新型的太阳电池减反射膜已经被工业界逐渐认识和应用.本文应用PECVD(等离子体增强化学气相沉积)系统,以硅烷和氨气为气源制备了同时具有钝化作用和减反射作用的氮化硅薄膜,并研究了在沉积的过程中,衬底温度、硅烷氨气流量比和射频功率对薄膜折射率和生长速率的影响.

著录项

来源
《2003年中国太阳能学会学术年会》|2003年|145-148|共4页
会议地点上海
作者
王晓泉; 汪雷; 席珍强; 杨德仁;
展开▼
作者单位

中国太阳能学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类太阳能电池;
关键词
PECVD; 氮化硅; 太阳电池; 减反射膜;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. PECVD法氮化硅薄膜制备工艺的研究 [J] . 汪文君 ,孙建洁 ,朱赛宁 . 电子与封装 . 2013,第011期
2. PECVD法硅基氮化硅薄膜的制备及其耐磨性研究 [J] . 王大刚 ,张德坤 . 润滑与密封 . 2009,第003期
3. PECVD氮化硅薄膜制备工艺研究 [J] . 施秉旭 . 电子世界 . 2021,第014期
4. PECVD制备太阳电池氮化硅薄膜特性研究 [J] . 周子游 ,蔡先武 ,刘文峰 . 太阳能 . 2017,第008期
5. PECVD 制备光学氮化硅薄膜均匀性分析研究 [J] . 刘昊轩 ,杭凌侠 ,薛俊 . 光学仪器 . 2014,第004期
6. PECVD法在PET基板上沉积氮化硅薄膜的工艺研究 [C] . 桑仁政 ,张浩 ,张建华 . 第七届华东三省一市真空学术交流会 . 2011
7. 用PECVD法沉积的氮化硅减反射膜对太阳电池的影响 [A] . 陈东 . 2003

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号