要解决的问题:提供一种光学组件,其本身具有足够的光学特性,高生产率和成本效益。
解决方案:在光学部件的制造方法中,在基底上形成抗蚀刻层,并用激光束照射该抗蚀刻层,以通过在用该抗反射层照射的部分中产生的烧蚀在该抗蚀刻层中形成开口。激光束,通过形成在抗蚀刻层上的开口蚀刻基底,以形成在基底上的凹入部分,并且去除抗蚀刻层以产生具有凹入部分的模具和模具的形状将其转印到光学材料上,从而制造具有突出部分的光学部件。
版权:(C)2010,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP2010079292A
专利类型
公开/公告日2010-04-08
原文格式PDF
申请/专利权人 TOPPAN PRINTING CO LTD;
申请/专利号JP20090196843
申请日2009-08-27
分类号G02B3;G02B5/02;G02F1/13357;H01L51/50;H05B33/02;G09F9;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 19:01:27