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图案形成方法、加工基板的制造方法、光学组件的制造方法、电路基板的制造方法、电子组件的制造方法和压印模具的制造方法

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摘要

将包含聚合性化合物组分(a1)和溶剂组分(d1)的固化性组合物(A1)的层层叠在基板的表面上。将至少包含聚合性化合物组分(a2)的固化性组合物(A2)的液滴离散地滴落在前述固化性组合物的层上。将所述固化性组合物(A1)和所述固化性组合物(A2)的混合层夹持在所述基板与模具之间。通过用光照射而使所述混合层固化。使所述模具与固化后的所述混合层脱离，并且在所述基板上形成图案。

著录项

公开/公告号CN109075033A

专利类型发明专利
公开/公告日2018-12-21

原文格式PDF
申请/专利权人佳能株式会社;
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申请/专利号CN201780022158.0
发明设计人伊藤俊树;大谷智教;千叶启子;刘卫军;布赖恩·蒂莫西·斯塔霍维亚克;
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申请日2017-03-29
分类号
代理机构北京魏启学律师事务所;
代理人魏启学
地址日本东京都大田区下丸子3丁目30番2号
入库时间 2023-06-19 07:51:04

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-01-15

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/027 申请日:20170329

实质审查的生效
2018-12-21

公开

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