突破光学组件集成瓶颈的纳米表面形貌在线测量新方法研究

摘要

随着纳米技术的不断发展,提高纳米加工质量和效率,同时降低制造成本越来越重要,为此实现纳米结构和器件的表面形貌在线测量显得非常必要和迫切.光学干涉方法是实现表面形貌在线测量最具潜力的方法之一,但是光学组件的尺寸大、成本高以及测量分辨率受衍射极限的限制等导致光学系统的集成度低,而且光学干涉测量容易受加工过程和环境中各种干扰因素的影响.针对以上问题,本项目提出并研究了用于实现表面形貌在线测量的新型光学干涉测量方法和系统.