公开/公告号IL170511B
专利类型
公开/公告日2010-04-15
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号IL170511
发明设计人
申请日2005-08-25
分类号F27B5/14;F27B17/00;F27D19/00;F27D21/00;F27D99/00;H01J37/32;H01Lnull/null;H01L21/00;H01L21/306;
国家 IL
入库时间 2022-08-21 18:46:41