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INSPECTION APPARATUS EMPLOYING WIDE ANGLE OBJECTIVE LENS WITH OPTICAL WINDOW.

机译:使用带有光学窗口的广角目标透镜的检查装置。

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号NL2005489A

    专利类型

  • 公开/公告日2010-11-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ASML HOLDING N.V.;

    申请/专利号NL20102005489

  • 发明设计人 VLADIMIRSKY YULI;RYZHIKOV LEV;WALSH JAMES;

    申请日2010-10-11

  • 分类号G02B9/00;G03F7/00;

  • 国家 NL

  • 入库时间 2022-08-21 18:45:34

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