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机译:二值和相移的照片集
公开/公告号WO02073310A3
专利类型
公开/公告日2009-11-19
原文格式PDF
申请/专利权人 DIVERGING TECHNOLOGIES INC.;
申请/专利号WO2002US07557
发明设计人 VAN DEN BROEKE DOUGLAS J.;CAMPI JIM G.;
申请日2002-03-12
分类号G03F9/00;G03F1/00;G03F1/32;G03F1/48;G21K5/00;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 18:41:24
机译: 移相光掩模空白,移相光掩模空白和移相光掩模的生产
机译: 二元和相移光罩