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机译：二元和相移光罩
公开/公告号US2003022072A1
专利类型
公开/公告日2003-01-30
原文格式PDF
申请/专利权人 DIVERGING TECHNOLOGIES INC.;
申请/专利号US20010809733
发明设计人 JIM G. CAMPI;DOUGLAS J. VAN DEN BROEKE;
申请日2001-03-13
分类号B32B9/00;B32B17/06;G03F9/00;G03C5/00;
国家 US
入库时间 2022-08-22 00:08:22
机译： 移相光掩模空白，移相光掩模空白和移相光掩模的生产
机译： 二元和相移光罩
机译： 二值和相移的照片集
