公开/公告号JP2011103257A
专利类型
公开/公告日2011-05-26
原文格式PDF
申请/专利权人 KOCHI UNIV OF TECHNOLOGY;
申请/专利号JP20090258405
申请日2009-11-11
分类号H05H1/46;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/3065;H01L21/203;C23C14/48;C23C16/511;C23C14/46;H01L21/265;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 18:23:34