要解决的问题:提供一种干燥室,该干燥室仅能够将工作区域的必要部分保持为规定的低露点的面积,并且进一步提高了其内部的工作自由度,并且该干室的优越性在于:生产线的替代性能。解决方案:干燥室由具有开口20a的壳体20,干燥空气供应管道系统14,干燥空气回收管道系统16,用于打开和关闭开口20a的上侧的上挡板34组成。上折板34和用于打开和关闭开口20a的下侧的下折板38,由前板34a和间隔开地设置在前板34a的后侧的后板34b组成。供应到形成在前板34a和后板34b之间的通风层34c的空气d作为气帘从形成在下端面上的干燥空气供应开口34e向下流动。
版权:(C)2011,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP2011021769A
专利类型
公开/公告日2011-02-03
原文格式PDF
申请/专利权人 OMC CO LTD;
申请/专利号JP20090164895
申请日2009-07-13
分类号F24F3/14;F24F9;H01G13;H01M10/058;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 18:22:48