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Method for producing piezoelectric actuator, method for producing liquid droplet jetting apparatus, piezoelectric actuator, and liquid droplet jetting apparatus

机译:压电致动器的制造方法,液滴喷射装置的制造方法,压电致动器和液滴喷射装置

摘要

A film-forming nozzle is moved so that a boundary portion of a plurality of areas on which a piezoelectric material layer is formed by a film-forming nozzle moving relative to a vibration plate is positioned outside deformable portions of the vibration plate and overlaps with restricted portions. This reduces stress concentration on a portion of the piezoelectric layer corresponding to the boundary portion of the deposition areas, and therefore, damage of the piezoelectric material layer is prevented.
机译:使成膜喷嘴移动,使得通过相对于振动板移动的成膜喷嘴在其上形成压电材料层的多个区域的边界部分位于振动板的可变形部分的外侧,并且在限制下重叠。部分。这减少了在压电层的与沉积区域的边界部分相对应的部分上的应力集中,因此,防止了压电材料层的损坏。

著录项

  • 公开/公告号US7919904B2

    专利类型

  • 公开/公告日2011-04-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 HIROTO SUGAHARA;MOTOHIRO YASUI;

    申请/专利号US20070717349

  • 发明设计人 MOTOHIRO YASUI;HIROTO SUGAHARA;

    申请日2007-03-13

  • 分类号H01L41/08;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 18:07:46

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