method of producing an optical early form using an internal dampfabscheidungsverfahrens and produced early form

机译： 等离子体刻蚀系统，用于使用同一模具形成光学元件的模具的制造方法，用于形成光学元件的模具，用于形成光学元件的模具的制造方法，用于制造光学元件的方法以及光学元件

机译： 用于制造相同成分的化合物和方法，组成，用于形成光学组件的成分，用于形成光刻胶片的成分，抗蚀剂成分，用于形成抗蚀剂图案的方法，辐射敏感组合物，用于制造非晶膜的方法，用于形成膜的材料的材料形成光刻底层膜的方法，生产光刻底层膜的方法，形成抗蚀剂图案的方法，形成电路图案的方法以及纯化方法

机译： 化合物，其制造方法，组成，光学部件形成用组合物，光刻用膜形成用组合物，抗蚀剂组合物，抗蚀剂图案形成方法，放射线敏感性组合物，非晶膜的制造方法，光刻用下层，成膜材料，形成用组合物用于光刻的底层膜，用于光刻的底层膜的制造方法，抗蚀剂图案形成方法，电路图案形成方法和纯化方法