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PHOTO MASK MANUFACTURING DEVICE AND METHOD FOR AUTOMATICALLY ATTACHING PHOTO MASK FILM TO GLASS SUBSTRATE

机译:光罩制造装置和用于将光罩膜自动附着到玻璃基质的方法

摘要

The present invention relates to a photo mask manufacturing device and method for automatically attaching a photo mask film to a glass substrate, and more specifically, to a photo mask manufacturing device and method for automatically attaching a photo mask film to a glass substrate, wherein the glass substrate is rotated 180 degrees while the glass substrate is mounted on the upper part of a vacuum panel so that the rotated glass substrate may be positioned in the lower part of the vacuum panel, and the vacuum panel is moved in the horizontal direction in order to attach an adhesive and the photo mask film.
机译:自动地将光掩模膜附着到玻璃基板上的光掩模制造装置和方法技术领域本发明涉及一种用于将光掩模膜自动附着到玻璃基板上的光掩模制造装置和方法,更具体地,涉及一种将光掩模膜自动地附着到玻璃基板上的光掩模制造装置和方法。在将玻璃基板安装在真空面板的上部的同时,将玻璃基板旋转180度,以使旋转的玻璃基板位于真空面板的下部,并且真空面板按顺序在水平方向上移动。粘贴粘合剂和光掩膜。

著录项

  • 公开/公告号WO2011019212A3

    专利类型

  • 公开/公告日2011-08-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 LEE JONGOH;

    申请/专利号WO2010KR05281

  • 发明设计人 LEE JONGOH;

    申请日2010-08-11

  • 分类号H01L21/027;

  • 国家 WO

  • 入库时间 2022-08-21 17:59:17

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