公开/公告号KR20110008184A
专利类型
公开/公告日2011-01-26
原文格式PDF
申请/专利号KR20107023377
发明设计人 NAGATA SHUNRO;WINNACKER ALBRECHT;BICKERMANN MATTHIAS;FILIP OCTAVIAN;EPELBAUM BORIS M.;HEIMANN PAUL;
申请日2009-03-26
分类号C30B29/38;C30B23/06;H01L21/02;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 17:52:42